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三維重建技術(shù)

通過共聚焦顯微測量技術(shù)實現(xiàn)高真空度環(huán)境下柵極腐蝕的在線實時測量，可以有效避免重復抽放真空對柵極設(shè)備壽命的影響問題，同時極大提高了柵極腐蝕檢測的速度和精度，測量精度可達到0.008mm，為柵極壽命試驗提供精準詳細的數(shù)據(jù)支持。

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